SF6 có thể được điều chế từ các nguyên tố thông qua tiếp xúc với S8 đến F2. Đây cũng là phương pháp được sử dụng bởi các nhà phát minh Henri Moissan và Paul Lebeau năm 1901. Một số lưu huỳnh florua khác được tạo ra đồng thời, nhưng những chất này được loại bỏ bằng cách nung nóng hỗn hợp để không cân xứng với bất kỳ S2F10 (có tính độc hại cao) và sau đó chà sạch sản phẩm bằng NaOH để tạo thành SF4. 

Ngoài ra, sử dụng brom, lưu huỳnh hexafluoride có thể được tổng hợp từ SF4 và CoF3 ở nhiệt độ thấp hơn (ví dụ: 100 °C), như sau:[4]

Hầu như không có phản ứng hóa học cho SF6. Đóng góp chính của SF6 là sự cản trở steric của nguyên tử lưu huỳnh, trong khi các nhóm 16 của nó nặng hơn, như SeF6 có phản ứng mạnh hơn SF6 do những trở ngại ít hơn steric (xem thí dụ hydrolysis).[5] Nó không phản ứng với natri nóng chảy dưới điểm sôi của nó,[6] nhưng phản ứng với nhiệt lượng bằng liti.